1959年合肥工业大学为适应国家经济建设对专业人才的需要，创建了精密机械仪器本科专业，使我校成为全国第三所设立该专业的高校。1963年我校培养了第一届精仪专业本科毕业生。1977年学校调整了专业隶属关系，成立了以精密仪器学科为主的机械一系。1981年，该系正式取名为精密机械系，1984年改名为精密仪器系（设有精密仪器专业和真空技术与设备专业）。1987年，为适应社会对人才的需求，精密仪器系增设检测技术与仪器专业。1997年国家教委对专业目录进行调整，精密仪器专业和检测技术与仪器专业和其他仪器仪表类专业并入测控技术与仪器专业。2001年，为适应高等教育发展的需要，精密仪器系正式改建为仪器仪表学院，并增设了光信息科学与技术本科专业。

　　1978年，精密仪器专业开始招收硕士研究生，1981年，在全国首批获得精密仪器及机械学科工学硕士学位授予权。1987年，该学科被机械部评为部属高校重点学科专业。1993年精密仪器及机械学科获工学博士学位授予权。1999年精密仪器系获准设立仪器仪表工程工程硕士学位授权点。2000年获得测试计量技术及仪器学科工学硕士学位授予权。